Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe

The present invention relates to a control of a vacuum pump having a pumping mechanism that performs a pumping in order to adjust a space to be evacuated to a predetermined vacuum level and has an electric motor for driving the pump mechanism. Der Elektromotor The electric motor 22 22 kann von der Bauart sein, in der die Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe durch Einstellen des Spannungswerts des Versorgungsstroms zum Elektromotor can be of the type in which the rotation speed by adjusting the voltage value of the supply current to the electric motor 22 22 eingestellt werden kann. Control according to any one of claims 1 to 3, characterized in that when a rate of change in the increase of the load torque of the vacuum pump per unit time is greater than a predetermined value, it is determined that the increase of the load torque of the vacuum pump for the unit time has suddenly changed upwards and the deceleration control Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe executed.

An embodiment of the invention as it is used in a vacuum pump for pumping a load lock chamber in a semiconductor production device is described below with reference to the accompanying drawings. Control according to any one of claims 1 to 9, characterized in that a load lock chamber, the side-by-side with respect to. Control according to any one of claims 1 to 3, characterized in that when a rate of change in the increase of the load torque of the vacuum pump per unit time is greater than a predetermined value, it is determined that the Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe of the load torque of the vacuum pump for the unit time has suddenly changed upwards and the deceleration control is executed. The present invention relates to a control of a vacuum pump having a pumping mechanism that performs a pumping in order to adjust a space to be evacuated to a predetermined vacuum level and has an electric motor for driving the pump mechanism. To prevent components of the vacuum pump can be damaged, the components can be strengthened so that they are more stable. This control is referred to with delay control. The invention can also be applied in the following mode without departing from the scope of Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe invention be dismissed.

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A SumoBrain Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe Company. Die Vakuumpumpe 20 hat einen Pumpmechanismus 21der die Ladeschleusenkammer 13 auspumpt, um die Kammer 13 auf ein vorherbestimmtes Vakuumniveau einzustellen und einen Elektromotor 22 zum Antreiben des Pumpenmechanismus Control according to claim 1 or 2, characterized in that the increase of the load torque of Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe vacuum pump at predetermined time intervals monitored repeated per unit time and that the monitoring is continued after it is determined that the increase of the load torque of the vacuum pump for the time unit has increased suddenly. For example, the difference between the rate of increase of the load torque at the present time and the rate of rise of the load torque at a predetermined time before the present time. Therefore, in this case possible to accurately determine whether the rate of increase in the load torque has suddenly changed up or not to calculate the difference without the slew rate. Die Drehgeschwindigkeit des Elektromotors 22 wird durch Einstellen der Ansteuerfrequenz Drehgeschwindigkeitsanweisungswert des Versorgungsstroms von dem Umwandler 30 eingestellt. Basierend auf der Entscheidung, verringert die ECU 31 die Drehgeschwindigkeit des Elektromotors 22um die Anstiegsgeschwindigkeit des Elektromotors 22 auf einen vorherbestimmten Zielwert zu verringern, beispielsweise entspricht die Anstiegsgeschwindigkeit des Lastdrehmoments einer geraden Linie 61 die durch die Einpunktlinien in 2 b gekennzeichnet ist.

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Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe steigt das Abgabedrehmoment des Elektromotors 22 oder das Lastdrehmoment der Vakuumpumpe 20 an. Basierend auf der Entscheidung, verringert die ECU 31 die Drehgeschwindigkeit des Elektromotors 22um die Anstiegsgeschwindigkeit des Elektromotors 22 auf einen vorherbestimmten Zielwert zu verringern, beispielsweise entspricht die Anstiegsgeschwindigkeit des Lastdrehmoments einer geraden Linie 61 die durch die Einpunktlinien in 2 b gekennzeichnet ist. To rise, so that the torque does not exceed the ceiling according i2 the ceiling. Control according to claim 1, characterized in that the load torque of the vacuum pump is calculated based on a current value supplied to the electric motor. Die Vakuumpumpe The vacuum pump 20 20 hat einen Pumpmechanismus a pumping mechanism 21 21der die Ladeschleusenkammer That the load lock chamber 13 13 auspumpt, um die Kammer pumps out to the chamber 13 13 auf ein vorherbestimmtes Vakuumniveau einzustellen und einen Elektromotor set to a predetermined vacuum level and an electric motor 22 22 zum Antreiben des Pumpenmechanismus for driving the pump mechanism 21 This limits the output torque of the electric motor or the load torque of the Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe pump, so that the torque does not exceed a predetermined upper limit, that is, the upper limit of torque that corresponds to the upper limit of the supply current i2. Dementsprechend steigt das Abgabedrehmoment des Elektromotors Accordingly, the output torque of the motor increases 22 22 oder das Lastdrehmoment der Vakuumpumpe or the load torque of the vacuum pump 20 20 an.

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Die ECU The ECU 31 31 stellt die Ansteuerfrequenz des Versorgungsstroms zum Elektromotor provides the driving frequency of the supply current to the electric motor 22 22 basierend auf den erfassten Informationen, die durch die Strommesseinheit based on the detected information obtained by the current measuring unit 32 32 bereit gestellt werden, ein. For example, if the rate of rise of the load torque is made starting at the time t1 is smaller than in the prior art, the rate of rise of the load torque can be made larger than in the Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe art to the current value i2 reaches the upper limit thereafter. Ein Kanal zum Austauschen einer Halbleiterscheibe zu einem Zeitpunkt des Halbleiterscheiben-Austausches ist zwischen beiden Kammern 12 und 13 vorgesehen und ein Absperrtor 14das beide Kammern 12 und 13 hinsichtlich des Drucks miteinander verbindet und voneinander trennt, ist in diesem Kanal vorgesehen. Dies kann die Anstiegsgeschwindigkeit zu dem Zeitpunkt verringern, zu dem das Lastdrehmoment der Vakuumpumpe 20 ansteigt. Control according to claim 4 or 5, characterized in that the delay control is executed to reduce the increase of the load torque of the vacuum pump per unit time to a predetermined target value. Control according to any one of claims 1 to 7, characterized in that the electric motor in such a manner is controlled so that the load torque of the vacuum pump does not exceed a predetermined upper limit. In this case, the voltage value Die Erhöhung des Mitgliedes von der Vakuumpumpe to the rotational speed instruction value.

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